Danh sách các thông số kỹ thuật của máy phủ quang đa lớp

Người mẫu

GX-1050A

GX-800A

GX-900A

GX1200A

Kích thước phòng lớp phủ

1050 * 1250304 Thép không gỉ.

800 * 1000

900 * 1050

1200 * 1250

Kích thước khoang phủ

Hỗ trợ cố định từ mặt đất 1680mm, phù hợp cho hoạt động của kỹ thuật con người.

Hỗ trợ cố định từ mặt đất 1468mm, phù hợp cho hoạt động của kỹ thuật con người.

Hỗ trợ cố định từ mặt đất 1510mm, phù hợp cho hoạt động của kỹ thuật con người.

1 loại công việc đơn lẻ, ở mức độ lớn hơn để đáp ứng nhu cầu của khách hàng để đồng nhất. Xoay 5-30R/phút, thay đổi tốc độ bước.

2 Tấm máy làm việc của Arch Type ba, vòng quay của hành tinh, ở mức độ lớn hơn để đáp ứng nhu cầu của khách hàng khi sản xuất. Xoay 5-30R/phút, thay đổi tốc độ bước.

Lá công cụ

Đối với bốn mảnh, góc khung có thể điều chỉnh ở mức độ lớn hơn để đáp ứng sự đồng nhất của nhu cầu của khách hàng. Xoay 5-30R/phút, thay đổi tốc độ bước.

Arch Type Mảnh công việc đơn lẻ, ở mức độ lớn hơn để đáp ứng nhu cầu của khách hàng để đồng nhất. Xoay 5-30R/phút, thay đổi tốc độ bước.

Arch Type Mảnh công việc đơn lẻ, ở mức độ lớn hơn để đáp ứng nhu cầu của khách hàng để đồng nhất. Xoay 5-30R/phút, thay đổi tốc độ bước.

Hệ thống chân không

Đơn vị: Bơm khuếch tán DIP-12000 (LAI BAO), Bơm rễ cây ZJY-300 2X-70, bơm cơ học, bảo trì bơm 2x-8. Ống cho thép không gỉ 304.

Đơn vị: Bơm khuếch tán KT-400 (Zhen Hua), Bơm rễ cây ZJY-150 2X-70, bơm cơ, bảo trì bơm 2x-8.

Đơn vị: Bơm khuếch tán KT-600 (Zhen HUA), Bơm rễ cây ZJY-600 2X-70, bơm cơ, bảo trì bơm 2x-8.

Đơn vị: Bơm khuếch tán KT-800 (Zhen HUA), Bơm rễ cây ZJY-600 2X-70, bơm cơ, bảo trì bơm 2x-8.

Nước chân không cuối cùng: Tốt hơn 4 x pa 10-4.

Cấu hình của thiết bị chống nhiễu, thiết kế khóa liên động an toàn, thủ công, tùy chọn tự động.

hệ thống máy sưởi

Ống sưởi ở chế độ gia nhiệt, điều khiển PID, 350 C + 1,5 cao nhất.

Lạm phát khí

Thiết bị điều khiển lưu lượng khối lượng khí hoặc van sạc điều chỉnh tốt thủ công.

Sự bắn phá ion hóa chân không

DC 3KV, catốt que 06kW (để phủ trước khi tự làm sạch phôi).

Nguồn bay hơi (tùy chọn)

1 Súng điện tử Telemark-270 (nhập), 6kW, áp suất cao 4KV-10KV có thể điều chỉnh. Quét, quét, quét tròn và quét xoắn ốc. Trọng tâm của điểm chùm là tốt, độ chính xác định vị cao và độ tái lập là tốt.

2 Súng điện tử trong nước (Zhen Hua): 6kW, áp suất cao 4 kV ~ 8kV có thể điều chỉnh, có thể tự do chọn sóng tam giác, sóng hình sin, quét sóng vuông.

3: Six Hole Crucible PHI 38 * 20 hoặc bốn lỗ hổng Phi 38 * 20 cộng với một vòng cung vòng cung trung tâm 87 điểm (đối với một lượng lớn vật liệu bay hơi điểm nóng chảy thấp) hoặc bốn điểm với 48 x 18 Crucible.

Nguồn ion (tùy chọn)

1 RF (tần số vô tuyến) Nguồn ion (nhập).

2 Nguồn ion 5KVA Holzer (Zhen Huachan), được sử dụng để mạ điện trước khi làm sạch hoặc mạ để hỗ trợ mạ, có lợi để cải thiện chỉ số khúc xạ phim, độ cứng, cải thiện mật độ phim, độ bám dính.

Hệ thống kiểm soát độ dày màng (lựa chọn)

1.MDC-360 Thiết bị điều khiển tinh thể (nhập) có thể lưu trữ quy trình phủ tự động 1 ~ 99 lớp, 99 loại dữ liệu chương trình, độ chính xác 0,5%+1 lỗi cố định. Thiết bị điều khiển tinh thể 2Telemark-880 (nhập): Có thể lưu trữ 1 đến 99 lớp quy trình phủ tự động, 99 loại dữ liệu chương trình. Độ chính xác 0,5%+1 Lỗi cố định.

3.Telemark-820 PhotoControll (nhập): Kết thúc phổ đầy đủ bằng công nghệ phân tích đa bước sóng, thông qua việc truyền giám sát 370-870 mm (hoặc phản xạ) Phân tích đường cong để xác định phần cuối của phim. Độ chính xác điều khiển cao và điều khiển độ dài sóng đơn, điều khiển tự động và điều khiển thủ công có thể được sử dụng. Phần mềm tính toán hệ thống màng Macileod bổ sung, mức độ tích hợp cao.

4.Telemark-820 Bộ điều khiển ánh sáng với bộ điều khiển Telemark-880 có thể đáp ứng màng tinh thể với độ chính xác cao và yêu cầu lặp lại cao. Với máy tính chủ có thể nhận ra điều khiển tự động.

5 Photocontroll trong nước (chẳng hạn như loại 9704 hỗ trợ bước sóng đơn sắc 330 ~ 870, v.v.) Có thể điều chỉnh, độ chính xác có thể đạt tới 1,5nm.

Thiết bị vận hành bằng tay

Với cơ sở từ tính, có thể được đặt trong cửa buồng chân không và kiểm soát vị trí tùy ý của tủ.